SJT 31126-1994 YL-1型MOCVD设备完好要求和检查评定方法
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ID： |
516C6A4240534D4991AB8606BAEE5006 |
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文件大小(MB)： |
0.22 |
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页数： |
3 |
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日期： |
2024-7-28 |
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中华人民共和国电子行业标准,SJ/T 31126-94 YL-I型MOCVD设备完好要求,和检查评定方法,1主题内容与适用范围,本标准规定了金属有机化合物化学汽相淀积设备（简称MOCVD设备）的完好要求和检,査、评定方法,本标准适用于YL—I型MOCVD设备,2术语,2.1 化学汽相淀积,以适当方法加热基片丒,气体反应物在加热衬底上发生化学反应,形成薄膜,均匀地淀积在,基片表而上。这种化学反应过程称为化学汽相淀积,2.2 金属有机化合物化学汽相淀积,用金属有基化合物作汽相源的化学汽相淀积,3完好要求,3.1 主要技术指标,YL-I型MOCVD设备完好要求检测的主要技术指标有:,a,极限真空:1X102 Pa；,b.反应室最高加热温度:1200 C;,c.反应室控温精度:士 LQC;,d,冷阱控温范围:-20- + 40 C；,e、致冷器控温精度:+0.7C；,f、髙频炉加热功率:8k Wo,3.2 操作系统,3. 2-1各操作阀门、开关、按钮、标志齐全,启动灵活.定位可靠,3.2.2制动、限位装置齐全,灵活可靠,3.3 传动系统,3,3.1 设备运转平稳,无冲击,无振动,3.3.2 导轨运行平稳,操作灵活,3.4 真空系统,3.4 .1整个气路系统气密性良好,多支路气体混合器设计合理切换迅速,3.4 -2气动阀门,流量计操作灵活,连接处牢固可靠,中华人民共和国电子工业部1994-04-15批准 1994-06-01实施,SJ/T 31126-94,3. 4-3机械泵完好要求,参照SJ/T 31412 —94执行。扩散泵运行正常,3.5电气系统,3. 5.1电气系统灵敏可靠,保护装置齐全,有效,3.5- 2线路完整,绝缘层无破裂,无漏电现象,3.5- 3高频炉完好要求,按动カ部分高频炉完好要求执行。本标准不作系统单列,3.6附 件,3. 6.1附件齐全,保管良好,无锈蚀,3.Z附属装置,3. 7.1尾气处理装置安装合理,使用正常,3.7 -2冷阱致冷器控温准确,使用良好,3.7.3氢气,氮气纯化器工作正常,经纯化的气体满足工艺要求,3.8 安全防护,3. 8-1设备接地可靠,标志明显,高频炉要求处于金属封闭状态,3.8 -2使用氢气等气体严格按照操作规程执行,废气处理装置应安全可靠,排放达到环保要,求,3.9 维护保养,3. 9-1机械泵油,分子泵油至少两年更换一次,高频炉中变压器油每两年更换一次,3.9- 2水冷装置无漏水,无堵塞情况,定期更换老化部件,3. 9. 3其它按SJ/T 31002—94《设备维护保养通则》中第三章执行,4检查、评定方法,4.1 检查方法,4.1.1 真空度检查方法:,将反应室与气路系统连接起来,抽真空45.60min,然后用复合真空计测试并记录真空数,值,以后每隔5.lOmin测试一次,共测试5.10次,取最后一次测试结東为设备的极限真空度,4.1-2反应室温度误差检査方法,反应室升温。当设备的指示温度第一次达到最高温度或ア定的工作温度并稳定3.5min,用温度测试仪测试温度,以后每隔3.5min测试ー次,共测3.5次。分析修正后的数握,其中标,称温度的最大正、负偏差定为在该标称温度时的温度误差,4.1- 3冷阱温度误差检查方法,开启冷阱控制器,当容器温度第一次达到予定温度后,稳定20.30min,然后用温度测试,仪测试温度并记录数值,以后每隔5.lOmin测试一次,共测试5.10次。分析修正后的测试数,据,其中与标称温度的最大正、负偏差定为在该标称温度时的温度误差,4.1 -4高频炉加热功率检查方法,检查时,可重复エ艺过程3.5次,并如实记录阳极电压,阳极电流,栅极电流及灯丝电压,并结合反应室温度,阳、栅电流比例等,检查测定高频炉是否处于正常工作范围,4.1.5对各系统完好要求,在设备现场,采用主观法检査,2,SJ/T 31126-94,4.2 评定方法,4.2.1,4. 2.2,设备,4.2.3,主要项目有3 J. 1项指标和3. 4.1~3. 4. 2,3. 8.1-3. 8. 2其余为次要项目,主要项目有一项不符合要求,为不完好设备;次要项目有两项不符合要求,亦为不完好,完好设备的维护保养,应达到优等设备标准,附加说明:,本标准由电子工业部经济运行与体制改革司提出,本标准由电子工业部第13所组织起草,本标准主要起草人:李洛滨,3……
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